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潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試 GB50472-2008 電子廠房設計規范同GB50073-2013潔凈廠房設計規范潔凈度的測試方法一致
潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試潔凈度的檢測，應符合下列規定：
1、應使用采樣量大于1L／min光學粒子計數器（激光塵埃粒子計數器），應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。
2、最少采樣點應按下式計算：
NL＝√A
式中NL——最少采樣點；
A——潔凈室或被控潔凈區的面積(㎡)。
3、采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的整個面積內，并應位于工作區的高度，活動高度宜距離地面0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為1min.
4、每一采樣點的每次采樣量應至少為2L，采樣量應按下式計算：
Vs={20/ Cn.m}×1000
式中：Vs——每個采樣點的每次采樣量，以L表示；當Vs很大時，可使用順序采樣法；
Cn.m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3)；
20——在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(pc)。
5 、當潔凈室或潔凈區僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣3次。
潔凈室檢測-電子廠潔凈度塵埃粒子測試 判定參考表格
GB50073-2013潔凈廠房設計規范 | |||||||
空氣潔凈等級（N） | 最高濃度極限（顆粒數/m3） | 近似對應傳統規格 | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | ||
1 | 10b | 2 | |||||
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 10 | |
5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 100 |
6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 1,000 |
7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 10,000 | |||
8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 100,000 | |||
9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | ||||
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